单晶炉设备有什么用途？

发布时间：2024-06-08 16:49编辑：admin归类：冶金设备

一、单晶炉设备有什么用途？

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

二、什么是单晶炉？

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉的构成：1、提拉头：主要由安装盘、减速机、籽晶腔、划线环、电机、磁流体、籽晶称重头、软波纹管等其他部件组成2、副室：主要是副室筒以及上下法兰组成3、炉盖：副室连接法兰、翻板阀、观察窗、抽真空管道组成4、炉筒：包括取光孔。5、下炉筒：包括抽真空管道。6、底座机架：全铸铁机架和底座。7、坩埚下传动装置：主要由磁流体、电机、坩埚支撑轴、减速机、软波纹管、立柱、上下传动支撑架、导轨等部件组成。8、分水器已经水路布置：包括分水器、进水水管、若干胶管、水管卡套等。9、氩气管道布置：质量流量计、3根以上的柔性管、不锈钢管、3个压力探测器、高密封性卡套等部件。10、真空泵以及真空除尘装置：油压真空泵、水环真空泵、过滤器、真空管道、硬波纹管等。11、电源以及电控柜：电源柜、滤波柜、控制柜、以及连接线。

三、单晶炉及附属设备部件的作用？

单晶炉分流环作用：单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。推荐使用MT3899系列滑环，此系列滑环的孔径在38.1mm,外径为99mm，路数为1到60路，或者按照客户的要求，电流可以做到5A,10A,15A,20A每路!

　　此系列滑环是我们的模块化产品，成本较低，交货周期短!产品的使用寿命可以达到1亿转。

　　导电滑环在单晶炉设备中的作用

　　本技术涉及一种用于真空设备中籽晶杆传动机构的水电连接机构。目前，公知的单晶炉设备的籽晶杆传动机构中自转的水、电的连接结构较笨重，大多是利用轴承、橡胶圈、压盖等部件来实现轴水冷的密封，不仅轴密封不可靠，且结构变得庞大，在安装、维修时也较不方便。

四、单晶炉设备常见故障及维修？

（一）真空度抽不到指标

1.真空密封室密封不良 2.球阀处密封松动或损坏 3.真空泵有故障

1.对真空室进行分段检验确定漏气点，进行排除 2.调整球阀或更换密封圈 3.参阅真空泵说明书，针对性维修

（二）埚升不稳

1.丝杠、螺母有污物，润滑不良 2.电磁离合器工作不良 3.同步带松动或工作不良 4.给定电位器接触不良 5.测速电机有问题 6.电机抖动

1.清洗丝杠螺母，加注润滑油 2.调整电磁离合器间隙为：0.4～0.6mm 3.调整同步带，使其合理啮合 4.查电控柜电气部分 5.检查测速电刷头或更换电机 6.电控柜查放大倍数

（三）埚转不稳

1.坩埚轴有卡滞现象 2.多楔带松动 3.测速电机有问题 4.坩埚轴定位轴承工作不良 5.给定电位器接触不良 6.电机抖动

1.清除波纹管中的杂物 2.调整多楔带的张力 3.检查测速机刷头或更换电机 4.清洗润滑轴承或更换轴承 5.查电控柜电气电路部分 6.电控柜查放大倍数

（四）籽晶轴升降不稳有抖动现象

1.卷丝轮与牵引套连接松动 2.钢丝绳有毛刺或折痕 3.减速机润滑不良 4.电刷环接触不良 5.给定电位器接触不良 6.电机抖 7.计算机控速输出不稳

1.紧固连接件 2.更换软轴钢丝绳 3.清洗润滑 4.清洗、调整电刷环组件 5.查电控柜 6.电控柜查放大倍数 7.更换计算机，检修软件程序参数变动

(五)籽晶轴转动不稳

1.测速电机有问题 2.多楔带松动 3.支撑轴承工作不良 4.给定电位器接触不良 5.电机抖动

1.检查测速机的电刷头或更换电机 2.调整多楔带的张力 3.清洗润滑轴承或更换轴承 4.查电控柜 5.电控柜查放大倍数

（六）飞车

1.电气部分大功率管穿通 2.组件少一组负电压 3.测速机的电压开路

1.更换大功率管，检查负电源及通路 2.检查电刷环

（七）偷转

1.放大器零点偏正修正2.计算机控速有无输出 3.大功率管漏电电流太大，电气柜调整

（八）不转不升降

1.给定无输出 2.计算机有负信号（晶升） 3.滑环开路 4.电机与减速器联接锁紧螺钉松动

1.检查电控柜，电气控制部分2.检查电控柜，电气控制部分 3.检修电刷环组件 4.连接处锁紧螺钉拧紧、紧固

（九）计长显示不稳或不准

1.电刷环组件接触不良 2.电气故障

1.清理、调整电刷环组件 2.查电控柜，电气控制部分

（十）非故障报警传感器误报警，检查传感器或者更换；

（十一）过流

1.加热器打火 2.氩气不纯拉弧 3.加热电极与炉体间的绝缘性差 4.高温加热后杂质挥发过多，拉晶过程中打火

1.清理炉内各处 2.换相应的绝缘件

（十二）等径过程中出现扭曲现象

1.按重锤摆动故障中各条检查调整 2.主机水平偏差过大 3.液面温度偏低，拉速过快

1.按相关方法处理 2.调整主机水平 3.电气部分加大温较量

在维修的过程中，还要必须了解掌握的一些技术参数，是为了方便故障检查及更好的服务维修，所以这里也罗列了一些工艺技术参数，由于工艺进步，这里对有些技术参数只是提出了一个方向，需要大家针对现在的工艺技术去了解。

五、清洗单晶炉累吗？

累

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

单晶炉的构成：1、提拉头：主要由安装盘、减速机、籽晶腔、划线环、电机、磁流体、籽晶称重头、软波纹管等其他部件组成

2、副室：主要是副室筒以及上下法兰组成

3、炉盖：副室连接法兰、翻板阀、观察窗、抽真空管道组成

4、炉筒：包括取光孔。

5、下炉筒：包括抽真空管道。

6、底座机架：全铸铁机架和底座。

7、坩埚下传动装置：主要由磁流体、电机、坩埚支撑轴、减速机、软波纹管、立柱、上下传动支撑架、导轨等部件组成。8、分水器已经水路布置：包括分水器、进水水管、若干胶管、水管卡套等。

9、氩气管道布置：质量流量计、3根以上的柔性管、不锈钢管、3个压力探测器、高密封性卡套等部件。

10、真空泵以及真空除尘装置：油压真空泵、水环真空泵、过滤器、真空管道、硬波纹管等。

11、电源以及电控柜：电源柜、滤波柜、控制柜、以及连接线。

六、什么是区熔单晶炉？

我做单晶炉子上镀金视窗和石英玻璃的,了解到区熔单晶炉就是用区熔法单晶生长技术制备的半导体硅材料，是重要的硅单晶产品。

由于硅熔体与坩埚容器起化学作用，而且利用硅表面张力大的特点，故采用悬浮区熔法，简称FZ法或FZ单晶.国内京运通和晶盛机电都已经有产品了.

七、大冶金诺矿山设备是国企吗？

不是国企。金诺矿山设备有限公司，为芬兰挪曼尔特公司提供矿山系列设备的配套部件生产供应，为全球矿山企业全力打造性能卓越、安全可靠的产品。位于湖北省大冶市罗家桥街道办事处罗金大道51号，经营范围：制造、销售矿山机械，矿山设备，矿山车辆及提供维修、保养服务；货物及技术进出口（涉及许可经营项目，应取得相关部门许可后方可经营）